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Editorial de la  
Universidad Tecnológica Nacional  
U.T.N.  - Argentina
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TUTORIALES
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    TECNOLOGIA   MICROELECTRÓNICA  
    Ing. Alfredo F. Covi
Profesor Titular de Tecnología Electrónica 
    Universidad Tecnológica Nacional 
      Facultad Regional Buenos Aires 
      Facultad Regional Haedo 
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    Universidad Nacional de la Matanza
.INDICE

Sección 1 
1- ELEMENTOS DE MICROELECTRÓNICA 
1.1- Cristal PN sin Excitar;  1.2- Semiconductor Intrínseco (pagina. 1);  1.3- El Hueco(pag.2);  1.4- Conducción en Semiconductores Intrínsecos(pagina.3);  Tabla 1  Propiedades del Silicio Intrínseco (pagina 4);  1.5- Semiconductores Extrínsecos (pagina 5) – Dopado(pagina.5);  1.5.1- Variaciones en las Propiedades del Silicio; 1.5.2- Variación de la Tensión de Ruptura por el Dopado;  1.5.3- Concentración Intrínseca(pagina 5);  1.6- Movilidad;  1.7- Conductividad s(pagina 5); 1.8- Difusión (pagina 6);  1.9- Unión  en un Circuito Abierto(pag.6); 1.9.1- Región de Carga Espacial(pagina.7);- 1.10.- Efectos Parásitos en Transistores Integrados(pag.8);- 1.11- Transistores como Diodos(pag.9 a 10). 

Sección 2 
2- FABRICACION DE CIRCUITOS INTEGRADOS 
2.1-TECNOLOGÍA DE LOS CIRCUITOS INTEGRADOS MONOLÍTICOS – MICROELECTRÓNICA(pagina 1). 
2.2- PROCESO PLANAR(pag.4) 
2.2.1) Crecimiento del Cristal del Sustrato – Producción de la Oblea; 2.2.2)  Crecimiento Epitaxial(pagina 4); 2.2.3)  Oxidación (Pagina 5); 2.2.4)  Fotolitografía(pagina.5);  Eliminación selectiva del  SiO2;  Se dibuja una representación amplia en blanco y negro;  ; Se revela;  El chip se sumerge en una solución corrosiva;  La disposición del chip se obtiene con la ayuda de un ordenador;  El dibujo del circuito se subdivide en varios niveles: niveles de enmascarado; 2.2.5) Difusión(pagina.6);  Introducción de impurezas con concentraciones controladas; 2.2.6)   Implantación de Iones(pagina.7);  Segundo procedimiento para introducir impurezas;  2.2.7)  Mentalización(pagina.8); Evaporación en alto vacío(pagina.8). 2.3  Técnica de Película Delgada [ 8 ](pagina 8); Figura Nº 2.10 Diagrama de Flujo(pagina 9); Película  delgada: Desarrollo Básico de la Técnica [11] (pagina 10 a 12). Estructura  película delgada  vs.  Película gruesa[12](pagina 12 a 13). Película  delgada  multicapa  encapsulado[ 12 ](pagina 13 a 14). Ejemplos de Multicapa de Película Delgada.(pagina 14 a 16). 

Sección 3 
3- FABRICACION DE TRANSISTORES BIPOLARES 
La fabricación del BJT planar para circuitos monolíticos;  La fabricación de resistencias; 3.1- Fabricación  de Transistores(pagina 1);  Difusión superficial de emisor;  3.2- Capa Enterrada(pagina.3); 3.3- Fabricación del TR PNP(pagina 3); El PNP lateral  y el PNP  vertical; Transistor  PNP  parásito; 3.3.1- Transistor Parásito(pagina.3 a 4). 

Sección 4 
4-  FABRICACIÓN DEL  FET 
4.1- Fabricación del NMOS de Acumulación(pagina 1);  Silicio policristalino(pagina.1).   Polisilicio sobre la oblea(pag.1);  4.1.1- Autoaislacion(pagina.4);  4.2- Transistores NMOS de Deplexion(pagina 4);  4.2.1- Largo y Ancho de Puerta(pagina.4);  4.3- Fabricación de JFET(pagina.5);  4.4- Tecnología CMOS(pag.5);  Asiento de tipo n implantado o difundido en el sustrato p; Implantación de iones de las regiones de fuente y drenaje tipo p del PMOS;  4.5- Diodos monolíticos(pag.6); 4.5.1- Características del Diodo (pag.8). 

Sección 5 
5-RESISTENCIAS  INTEGRADAS 
5.1- Resistencia Pelicular; 5.2- Resistencias Difundidas (pag.1); Tabla 1.  Parámetros Típicos de Resistores Integrados Difundidos (pagina.2); 5.2.1Coeficiente de Temperatura (pagina.3); 5.3-Resistencias de Estriccion (pagina.3); 5.4- Resistencias de Película Delgada (pag.3). 

Sección 6 
6- CONDENSADORES  INTEGRADOS 
6.1- Condensador de Unión(pag.1); 6.2-Condensadores MOS y de Película Delgada(pag.2 a 3). 6.3 Proceso de  deposición dieléctrico [4] (pagina 3 a 7).  6.4  Margenes  de  funcionamiento  según  el  proceso  de  depositado (pagina 8); 6.4.1 Limites de Frecuencia de resistores Peliculares (pagina 8); 6.4.2  Efecto de la Temperatura en Capacitores Difundidos (pagina 10); 6.4.2  Efecto de la Temperatura en Capacitores Difundidos (pagina 10 a 11). 

Sección 7 
7-INGENIERIA DE LOS CI Y CIRCUITOS MICROELECTRONICOS 
7.1-Encapsulado de Circuitos Integrados; - 7.2- Síntesis de las características de los componentes integrados(pag.1); - 7.3- Disposición de los circuitos Microelectronicos(pag.1); - 7.3.1 Circuitos Bipolares(pagina 1);  7.3.2-  Circuitos MOS;  7.3.3- Cruces de Conexiones(pag.2);  7.3.4- Trazado con Computador(pag.2); - 7.4-  Método de interconexión para Microcircuitos; - 7.4.1-  Soldadura por Resistencia Eléctrica(pagina.2);  7.4.2- Soldadura por Haz de Electrones(pagina.3);  7.4.3- Soldadura por Láser(pag.5); 7.4.3.1- Soldadura Directa por Radiación Láser [ 9 ](pagina 6); 7.4.4-  Soldadura por Termo compresión(pagina 7) La Termocompresion [9](pagina 7); TABLA  1.1(pagina 11);  7.4.4-  Soldadura por Termo compresión(pag.7);  7.4.4.1- Soldadura por Termo compresión por Cuña;  7.4.4.2- Soldadura por Termo compresión por Cabeza de Clavo(pag.11);  7.4.5- Soldadura por Ultrasonido(pag.11). 7.4.5.1- Soldadura  Ultrasónica [ 9 ](pagina 12); TABLA 1.2(pagina 12 a 13); 7.5 Sobrecargas  en   microelectrónica (pagina 13 a 16). 

Sección 8 
8- APLICACIONES TÉCNICAS DE INTEGRACIÓN 
La confiabilidad; 8.1- Integración y Secuencia de Deposición para el Amplificador Diferencial(pag.1); 8.1.1- Efectos Geométricos en la disposición del Circuito  (pagina.2);  8.1.2-  Secuencia de Deposición para el Amplificador Diferencial(pagina.2);  mascaras de molibdeno; El primer material depositado es nicromo;  soldadura con electrodo partido;  La segunda  deposición:  Seleniuro de Cadmio; El tercer material que se deposita es el Monóxido de Silicio SiO;  Resistividad superficial;  Tabla de Materiales por Orden de Deposición para Circuitos  de PD(pagina.4);  8.2 Encapsulado  funcional   aplicado  al  diseño  de  un  computador (pagina 4 a 10); 8.2.1 Flexibilidad de la Lógica (pagina 10 a 11); 8.2.1.1 Como Puede Afectar al Diseño Lógico el Numero de Elementos de Almacenamiento (pagina 11).  8.3  Integracion  de  un circuito  NO-O (pagina 16) ; 8.3.1 Una Caja Negra Necesita Especificaciones Determinadas (pagina 16); 8.3.2 Planeamiento del Diseño del Circuito y Configuración de las Mascaras (pagina 17); TABLA 1:  Parámetros de Diseño de la Compuerta  NO-O  (pagina 19); 8.3.3 Los Ensayos de Tensión de Saturación (pagina 17); TABLA 2  Características Eléctricas de la Compuerta  NO-O (pagina 20). 

Sección 9 
9- INDUCTORES INTEGRADOS;  9.1- Diseño inductores en película delgada PD. 
9.1.1-  Diseño de Bobinas en Espiral en PD(pag.1);  Tabla Nº 1.  Características de Tres Bobinas Cuadradas en Espiral(pag.6);  Tabla Nº 2  Valores Calculados y Medidos para dos Bobinas Planas(pagina.7). 

Seccion 10 
10  SISTEMAS  INTEGRADOS; 10.1  CCD -Dispositivos  acoplados  en  carga.(pagina 1); 10.2  Funcionamiento Básico del CCD (pagina 1); 10.2.1  Electrodos por Bit (pagina 3); 10.3  Estructuras  CCD (pagina 3); 10.4 Formaciones logicas (pagina 4); 10.4.1 Elementos Básicos de la Formación (pagina 5); 10.4.1.1  Las Conexiones Diagonales son Importantes (pagina 6);  10.4.1.2  Modelos para Ensayar las Formaciones.(pagina 6 a 8). 

Seccion 11 
11  AMPLIFICADORES  INTEGRADOS; 11.1  Amplificador  de  pelicula delgada [15]; 11.1.1  Amplificador de Interfase Metálica. (pagina 1 a 2). 


BIBLIOGRAFÍA

edUTecNe [Editorial Universitaria de la U.T.N.]
Sarmiento 440 - (C1041AAJ) - Ciudad Autónoma de Buenos Aires - Argentina
edutecne@utn.edu.ar

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